Nga hoàn thiện thiết bị sản xuất chip 130nm nội địa đầu tiên, chậm hơn thế giới 25 năm

🔧 NGA HOÀN THIỆN THIẾT BỊ SẢN XUẤT CHIP 130NM NỘI ĐỊA ĐẦU TIÊN, CHẬM HƠN THẾ GIỚI 25 NĂM

Trung tâm Công nghệ Nano Zelenograd (ZNTC) tại Nga đã hoàn thành giai đoạn nghiên cứu và phát triển (R&D) thứ ba đối với thiết bị quang khắc đầu tiên của công ty, có khả năng xử lý các tấm wafer 200 mm sử dụng công nghệ tiến trình 130nm, theo CNews. Thiết bị này hiện đang được thử nghiệm nội bộ và còn cách nhiều năm nữa để có thể được sử dụng tại một nhà máy thực tế nhằm sản xuất chip với số lượng lớn. Blogger Dmitrii Kuznetsov cho rằng thiết bị này là "máy quang khắc 130nm đầu tiên của Nga" bao gồm các linh kiện được sản xuất tại Nga. Tuy nhiên, điều đó có thể không hoàn toàn chính xác.

"Việc tạo ra nguyên mẫu hệ thống quang khắc do Nga tự phát triển được thiết kế cho tiến trình 130nm là một cột mốc quan trọng đối với ngành công nghiệp vi điện tử của Nga," Alexander Mikhailov, một nhà phân tích tại Strategy Partners, chia sẻ với CNews. "Nó chứng minh rằng Nga có chuyên môn kỹ thuật riêng cần thiết để phát triển thiết bị như vậy và mở đường cho việc phát triển hàng loạt hệ thống nhắm đến các tiến trình nhỏ hơn (90nm và 65nm)."

Thực tế cho thấy, mặc dù ZNTC có trụ sở tại Zelenograd chịu trách nhiệm về dự án, công ty Planar có trụ sở tại Belarus mới là đơn vị phát triển hệ thống quang khắc này, theo các tài liệu mà CNews tiếp cận được (củng cố cho các báo cáo trước đó). Ngoài bản thân hệ thống, Planar chịu trách nhiệm sản xuất các cụm cơ khí và linh kiện, cũng như vận hành nguyên mẫu. Các tia laser cho thiết bị được phát triển bởi Lassard. Trong khi đó, ZNTC chịu trách nhiệm phát triển toàn bộ hệ thống, thiết kế thiết bị kiểm tra và quy trình, tính toán thấu kính chiếu, cũng như mô phỏng và phát triển quy trình, báo cáo cho biết. Bộ Công Thương Nga đã phân bổ khoảng 70 triệu USD cho toàn bộ chương trình phát triển.

Người ta ước tính rằng một thiết bị stepper 130nm của ZNTC có giá khoảng 6,7 triệu USD, trong khi nguồn sáng laser của nó có giá khoảng 600.000 USD, đưa tổng chi phí của một thiết bị đơn lẻ lên khoảng 7,3 triệu USD. Để dễ hình dung, thiết bị stepper PAS 5500/150 của ASML có giá niêm yết là 3,1 triệu USD khi ra mắt vào quý 1 năm 2001. Tính theo lạm phát tích lũy khoảng 88%, con số này tương đương khoảng 5,8 triệu USD theo giá trị đô la năm 2026. Trong khi đó, thiết bị stepper của Nga là một cỗ máy 200 mm có khả năng sản xuất công nghệ 130nm.

Nhắc đến các quy trình sản xuất 130nm — mà Intel và AMD lần lượt áp dụng vào năm 2001 và 2002 — các nhà sản xuất chip Nga từ trước đến nay đã phát triển hai node ở mức 130nm, nhưng những công nghệ đó phụ thuộc vào thiết bị quang khắc từ ASML. Việc thiết bị stepper của ZNTC có thể được tích hợp vào các node hiện có hay không vẫn chưa rõ ràng, nhưng ZNTC tuyên bố họ cũng chịu trách nhiệm về việc 'mô phỏng và phát triển' công nghệ quy trình. Điều này có thể đề cập đến việc phát triển/định tính quy trình quang khắc xung quanh cỗ máy cụ thể này — chất cản quang, liều lượng chiếu sáng, cửa sổ lấy nét/quy trình, mặt nạ, căn chỉnh/chồng khít, điều kiện phát triển, nhiệt độ, v.v. — chứ không phải là phát minh ra toàn bộ công nghệ 130nm từ con số không.

Với một chu kỳ phát triển thiết bị quang khắc thông thường, thiết bị stepper 130nm của ZNTC có lẽ vẫn còn cách nhiều năm nữa mới được sử dụng cho việc sản xuất chip thực tế. Hiện tại, hệ thống bước và lặp (step-and-repeat) 130nm của ZNTC vẫn là một nguyên mẫu kỹ thuật, được bàn giao chậm hơn năm tháng so với dự kiến. Nguyên mẫu đầu tiên hiện đang trải qua quá trình kiểm tra kỹ thuật và nghiệm thu nội bộ, sau đó ZNTC sẽ phải hoàn thiện thiết kế và xác thực mọi thứ từ hình ảnh, độ chồng khít đến độ tin cậy và thông lượng, quá trình này sẽ mất hơn một năm. Chỉ sau đó, họ mới có thể chế tạo các cỗ máy nguyên mẫu cho các nhà sản xuất chip thực tế, những đơn vị sẽ phải đánh giá đặc tính và sau đó định chuẩn chúng cho các dây chuyền sản xuất của họ, mất hàng tháng, nếu không muốn nói là hàng năm.

Ngay cả các nhà cung cấp thiết bị quang khắc lâu đời thường cũng phải mất vài năm để chuyển từ hệ thống kỹ thuật tích hợp đầu tiên sang triển khai sản xuất, vì vậy khung thời gian thực tế để cỗ máy của Nga bắt đầu xử lý các tấm wafer thương mại có lẽ sẽ rơi vào khoảng năm 2029 là sớm nhất. Việc sản xuất hạn chế các thiết bị stepper này có thể bắt đầu sớm hơn miễn là ZNTC có tất cả các bộ phận cần thiết, nhưng điều đó không nên bị nhầm lẫn với việc định chuẩn chúng cho sản xuất chất bán dẫn hàng loạt.

🗞 Nguồn: Tom's Hardware

#vgsnews #vgs #tintuc